手机在线播放视频-手机在线av播放-手机在线av-手机影院在线-国产二区精品-国产对白刺激视频

當前位置:首頁  >  技術文章  >  解決方案 |LabMS 3000 ICP-MS測定電子級多晶硅中基體金屬雜質含量

解決方案 |LabMS 3000 ICP-MS測定電子級多晶硅中基體金屬雜質含量

更新時間:2023-02-22       點擊次數:2952

前言

電子級多晶硅金屬雜質含量是評價其產品質量的重要指標之一,其雜質含量的高低直接影響下游晶圓制造產品質量,所以對其金屬雜質含量的控制至關重要。

本實驗參照《GB∕T 37049-2018 電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法》,采用LabMS 3000s ICP-MS測試電子級多晶硅中基體金屬雜質含量。LabMS 3000s采用的加強型離子透鏡和偏轉技術,結合高性能冷等離子技術和新一代碰撞反應池技術,可有效消除干擾,從而獲得更低的檢測限、背景等效濃度和準確的超痕量分析結果,保證數據質量。

1.實驗

1.1 儀器設備

EH20B 微控數顯電熱板,萊伯泰科

微信圖片_20230217151346 

LabMS 3000s 電感耦合等離子體質譜儀,萊伯泰科

電感耦合等離子體質譜儀LabMS3000ICP-MS5432 

1.2 樣品前處理

1.2.1 樣品預處理

將樣品破碎成小塊,破碎過程中嚴格避免金屬沾污。將破碎后樣品置于用氫氟酸和硝酸混合溶液中消解清洗,剝離全部表面層后用超純水洗凈。

將清洗后的樣品置于潔凈聚四氟燒杯中,于電熱板上烘干至恒重。

1.2.2 樣品制備

稱取0.5g(0.0001g)清洗烘干后的樣品于潔凈聚四氟燒杯中,加入一定量的氫氟酸和硝酸混合溶液中,在電熱板上加熱使樣品全部溶解,繼續加熱將溶液蒸發近干。室溫冷卻加3%硝酸溶解定容至5ml,轉移至PFA樣品瓶待測。

1.3 干擾校正

Cr、Ni、Cu、Zn易受到(ArN+)、(ArC+)、(ArOH+)等分子的干擾,采用氦氣碰撞模式消除干擾;Na元素在正常熱等離子體中受干擾較多,背景較高,采用等離子體模式測試可有效降低背景,提升檢出限;Fe元素在正常熱等離子體中受到(ArO+)分子的干擾,采用冷等離子體模式測試。

1.4 標準溶液配置

各元素曲線系列點濃度如表1所示;手動加入2ppb的Co內標。

表1 各元素的標準溶液配制梯度

表1 各元素的標準溶液配制梯度 

1.5 儀器參數

表2 LabMS 3000s ICP-MS 儀器參數

表2 LabMS 3000s ICP-MS 儀器參數 

2.測試結果

2.1 標準曲線:經測試,所有元素線性相關系數大于 0.999。

圖1 6種元素的標準曲線 

圖1  6種元素的標準曲線

2.2 背景等效濃度(BEC)及檢出限(DL)

表3 各元素的背景等效濃度(BEC)及檢出限(DL)

表3 各元素的背景等效濃度(BEC)及檢出限(DL) 

注:各元素的等效濃度(BEC)及檢出限(DL)直接使用標準曲線上給出的數值。

2.3 樣品測試結果

表4 樣品測試結果

表4 樣品測試結果 

3.結論

LabMS 3000s ICP-MS的第四代碰撞池技術及冷等離子技術能夠有效去除干擾,獲得小于5ppt的背景等效濃度(BEC)以及小于1ppt的檢出限(DL)。結果表明,LabMS 3000s可有效檢測電子級多晶硅中基體金屬雜質含量。

 

主站蜘蛛池模板: 鲁大师影院在线视频在线观看 | 国产成人久久婷婷精品流白浆 | 久久青草影院 | 成人在线视频在线观看 | 日日操夜夜操天天操 | 果冻传媒在线观看进入窗口 | 国产午夜免费视频片夜色 | 国内精品久久久久久西瓜色吧 | 国内精品免费视频精选在线观看 | 无码一区二区在线欧洲 | 欧美一级情欲片在线 | 99欧美精品 | 国产在线精品亚洲二品区 | 国产精品九九久久 | 日本邪恶全彩工囗囗番海贼王 | 97色色极品av影院 | 亚洲一级特黄 | 久久理论片迅播影院一级 | 暖暖 免费 高清 日本 在线 | 欧美videos人牛交 | 国产午夜一级淫片 | 色呦呦导航 | J午夜精品久久久久久毛片 jzz大全18 | 舔1V1高H糙汉 | 亚洲成人在线免费 | 我解开了岳的乳第一个女人 | 久久久久国产 | 亚洲综合色婷婷在线影院 | c了瑜伽老师嗷嗷叫一节课视频 | 色综合 亚洲 自拍 欧洲 | 九九热视频这里只有精 | 亚洲欧洲日韩国产一区二区三区 | 欧美又粗又长又大AAAA片 | 成人在线视频免费观看 | 嗯别插太快好深再深点 | 午夜片神马影院福利 | 男人桶爽女人 | 亚洲熟少妇在线播放999 | 日韩人妻精品久久日 | 久久91精品国产91久 | 国产乱码精品AAAAAAAA |